Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Касьянов, Александр Александрович - Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07

Карточка

Касьянов, Александр Александрович.
Касьянов, Александр Александрович.

Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Инж.-физ. ин-т. - Москва, 1993. - 19 с.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
9 93-1/471-2
9 93-1/472-0

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеАвтоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 11.03.1993
Дата поступления в ЭБ 13.08.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИнж.-физ. ин-т
Выходные данныеМосква, 1993
Физическое описание19 с.
ТемаАвтоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
BBK-кодЖ621-5-05,0
ЯзыкРусский
Места хранения9 93-1/471-2
9 93-1/472-0
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1