Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Сергеева, Жанна Михайловна - Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Сергеева, Жанна Михайловна.
Сергеева, Жанна Михайловна.

Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1994. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
9 94-1/1246-7
9 94-1/1247-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 22.04.1994
Дата поступления в ЭБ 03.06.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиГос. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание15 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ844.15-060.6-1,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места хранения9 94-1/1246-7
9 94-1/1247-5
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1