Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Тысченко, Ида Евгеньевна - Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Тысченко, Ида Евгеньевна.

Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Рос. АН Сиб. отд-ние. Ин-т физ. полупроводников. - Новосибирск, 1992. - 15 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
9 92-2/1499-x
9 92-2/1500-7

Marc21

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВысокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 07.05.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. АН Сиб. отд-ние. Ин-т физ. полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1992
Физическое описание15 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места хранения9 92-2/1499-x
9 92-2/1500-7