Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Симакин, Сергей Геннадьевич - Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Симакин, Сергей Геннадьевич.
Симакин, Сергей Геннадьевич.

Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Черноголовка, 1995. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
9 95-4/869-5
9 95-4/870-9

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеВторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 19.06.1996
Дата поступления в ЭБ 06.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Выходные данныеЧерноголовка, 1995
Физическое описание23 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.7-7с336,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места хранения9 95-4/869-5
9 95-4/870-9
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1