Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Амиров, Ильдар Искандерович - Взаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Амиров, Ильдар Искандерович.

Взаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
9 92-1/3930-0
9 92-1/3931-9

Marc21

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВзаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 17.04.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание18 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.14,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места хранения9 92-1/3930-0
9 92-1/3931-9