Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Ерохин, Юрий Николаевич - Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Ерохин, Юрий Николаевич.

Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов. - Москва, 1991. - 14 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
9 91-3/3267-1
9 91-3/3268-x

Marc21

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 26.08.1991
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов
Выходные данныеМосква, 1991
Физическое описание14 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ379.227,03
В379.271.21,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места хранения9 91-3/3267-1
9 91-3/3268-x