Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Бесогонов, Валерий Валентинович - Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13

Карточка

Бесогонов, Валерий Валентинович.

Исследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Физ.-техн. ин-т. - Москва, 1996. - 18 с.
Системы и устройства радиотехники и связи
9 98-1/3529-8
9 98-1/3530-1

Marc21

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния конструкции установки и параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
Дата поступления в ЭК 23.06.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-техн. ин-т
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание18 с.
ТемаСистемы и устройства радиотехники и связи
BBK-кодЗ844.13-060.7-5,0
Специальность05.12.13: Системы, сети и устройства телекоммуникаций
ЯзыкРусский
Места хранения9 98-1/3529-8
9 98-1/3530-1