Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Младенов, Алексей Йорданов - Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04

Карточка

Младенов, Алексей Йорданов.

Исследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Ин-т автоматики и электрометрии. Сиб. отд-ние АН СССР. - Новосибирск, 1988. - 21 с.
Физическая электроника
9 88-8/1454-1
9 88-8/1455-Х

Marc21

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и оптимизирование процессов плазменного травления в низкочастотном разряде : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04
Дата поступления в ЭК 28.10.1988
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т автоматики и электрометрии. Сиб. отд-ние АН СССР
Выходные данныеНовосибирск, 1988
Физическое описание21 с.
ТемаФизическая электроника
BBK-кодЗ844.1-060.14-64,0
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места хранения9 88-8/1454-1
9 88-8/1455-Х