Лисенков, Александр Аркадьевич - Исследование и разработка методов магнитного управления процессом осаждения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02

Лисенков, Александр Аркадьевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Лисенков, Александр Аркадьевич.
Исследование и разработка методов магнитного управления процессом осаждения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02. - Санкт-Петербург, 1995. - 16 с.

Вакуумная и плазменная электроника
Шифр хранения:
FB 9 95-1/3032-8
FB 9 95-1/3033-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка методов магнитного управления процессом осаждения покрытий из плазмы вакуумно-дугового разряда : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 06.07.1995
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1995
Физическое описание16 с.
ТемаВакуумная и плазменная электроника
BBK-кодЗ85-060.7-5-05,0
Специальность05.27.02: Вакуумная и плазменная электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 95-1/3032-8
FB 9 95-1/3033-6
Электронный адрес Электронный ресурс