Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Райнова, Мария Юрьевна - Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Райнова, Мария Юрьевна.
Райнова, Мария Юрьевна.

Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электронной техники. - Москва, 1997. - 22 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
9 97-2/556-0
9 97-2/557-9

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 12.08.1997
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т электронной техники
Выходные данныеМосква, 1997
Физическое описание22 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-049.71-035-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места хранения9 97-2/556-0
9 97-2/557-9
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1