Ухов, Андрей Александрович - Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Ухов, Андрей Александрович.
Экспресс-заказ фрагмента
Ухов, Андрей Александрович.
Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07. - 1995. - 14 с.

Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 95-3/3702-x
FB 9 95-3/3703-8

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 13.06.1996
Дата поступления в ЭБ 06.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данные1995
Физическое описание14 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.1-060.7-7с33-5-01,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 95-3/3702-x
FB 9 95-3/3703-8
Электронный адрес Электронный ресурс