Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Ухов, Андрей Александрович - Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Карточка

Ухов, Андрей Александрович.
Ухов, Андрей Александрович.

Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07. - 1995. - 14 с.
Оборудование производства электронной техники
9 95-3/3702-x
9 95-3/3703-8

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 13.06.1996
Дата поступления в ЭБ 06.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Выходные данные1995
Физическое описание14 с.
ТемаОборудование производства электронной техники
BBK-кодЗ844.1-060.7-7с33-5-01,0
ЯзыкРусский
Места хранения9 95-3/3702-x
9 95-3/3703-8
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1