Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Васильев, Андрей Георгиевич - Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Васильев, Андрей Георгиевич.
Васильев, Андрей Георгиевич.

Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. - Москва, 1995. - 35 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
9 95-5/122-9
9 95-5/123-7
9 96-1/540-7
9 96-1/541-5

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 15.07.1996
Дата поступления в ЭБ 05.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. академия наук
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание35 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.7-1,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места хранения9 95-5/122-9
9 95-5/123-7
9 96-1/540-7
9 96-1/541-5
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1