Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Ковалгин, Алексей Юрьевич - Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Ковалгин, Алексей Юрьевич.
Ковалгин, Алексей Юрьевич.

Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С.-Петербург. гос. техн. ун-т. - Санкт-Петербург, 1995. - 16 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
9 95-4/3443-2
9 95-4/3444-0

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 10.07.1996
Дата поступления в ЭБ 06.05.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиС.-Петербург. гос. техн. ун-т
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1995
Физическое описание16 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ843.310.8-1,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места хранения9 95-4/3443-2
9 95-4/3444-0
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1