Умнов, Владимир Павлович - Исследование принципов построения, разработка и внедрение лазерных технологических установок для контроля и настройки параметров ГИС и пленочных элементов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.03; 05.11.05

Экспресс-заказ фрагмента
Умнов, Владимир Павлович.
Исследование принципов построения, разработка и внедрение лазерных технологических установок для контроля и настройки параметров ГИС и пленочных элементов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.03; 05.11.05 / Ленингр. ин-т точной механики и оптики. - Ленинград, 1988. - 16 с.

Квантовая электроника
Шифр хранения:
FB 9 88-9/2789-3
FB 9 88-9/2790-7

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование принципов построения, разработка и внедрение лазерных технологических установок для контроля и настройки параметров ГИС и пленочных элементов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.03; 05.11.05
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 16.02.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЛенингр. ин-т точной механики и оптики
Выходные данныеЛенинград, 1988
Физическое описание16 с.
ТемаКвантовая электроника
BBK-кодЗ844.15-070.3с34-5-05,0
Специальность05.27.03: Квантовая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 88-9/2789-3
FB 9 88-9/2790-7