Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Жариков, Сагиндык Киякбаевич - Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Жариков, Сагиндык Киякбаевич.

Исследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Москва, 1995. - 24 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
9 96-2/3851-2
9 96-2/3852-0

Marc21

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование приповерхностных слоев кремния, имплантированного высокимидозами углерода с помощью ИК-спектроскопии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 28.01.1997
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание24 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ379.247,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места хранения9 96-2/3851-2
9 96-2/3852-0