Дулькин, Александр Евгеньевич - Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Дулькин, Александр Евгеньевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Дулькин, Александр Евгеньевич.
Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе. - Санкт-Петербург, 1993. - 18 с.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
FB 9 93-3/551-3
FB 9 93-3/552-1

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 18.01.1994
Дата поступления в ЭБ 12.10.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиФиз.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1993
Физическое описание18 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодЗ86-531.8-060.14-1,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 93-3/551-3
FB 9 93-3/552-1
Электронный адрес Электронный ресурс