Овчаренко, Евгений Николаевич - Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Овчаренко, Евгений Николаевич.
Экспресс-заказ фрагмента
Овчаренко, Евгений Николаевич.
Исследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ физических проблем им. Ф. В. Лукина. - Москва, 1993. - 24 с.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 94-1/575-4

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование технологических потерь БИС с применением электрических тестовых структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 01.03.1994
Дата поступления в ЭБ 29.01.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ физических проблем им. Ф. В. Лукина
Выходные данныеМосква, 1993
Физическое описание24 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.152-06-64-5-05,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-1/575-4
Электронный адрес Электронный ресурс