Чэкай, Дионизы - Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02

Чэкай, Дионизы.
Экспресс-заказ фрагмента
Чэкай, Дионизы.
Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова. - Ленинград, 1989. - 14 с.

Вакуумная и плазменная электроника
Шифр хранения:
FB 9 89-4/3329-x
FB 9 89-4/3330-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.02
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 27.07.1989
Дата поступления в ЭБ 09.12.2021
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиЛенингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова
Выходные данныеЛенинград, 1989
Физическое описание14 с.
ТемаВакуумная и плазменная электроника
BBK-кодЗ844.13-060.7-1,0
Специальность05.27.02: Вакуумная и плазменная электроника
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 89-4/3329-x
FB 9 89-4/3330-3
Электронный адрес Электронный ресурс