Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Казаков, Анатолий Иванович - Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06

Карточка

Казаков, Анатолий Иванович.

Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т стали и сплавов. - Москва, 1992. - 36 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
9 92-4/254-0
9 92-4/255-9

Marc21

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 29.09.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиМоск. ин-т стали и сплавов
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание36 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ843.308-1с116,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места хранения9 92-4/254-0
9 92-4/255-9