Система работает в тестовом режиме. Предыдущая версия поиска доступна по ссылке.

Пашков, Владимир Юрьевич - Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01

Карточка

Пашков, Владимир Юрьевич.
Пашков, Владимир Юрьевич.

Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ точного машиностроения. - Москва, 1996. - 25 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
9 96-3/4051-1
9 96-3/4052-X

Документ в свободном доступе. Читать 

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 27.03.1997
Дата поступления в ЭБ 20.09.2007
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ точного машиностроения
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание25 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.152-060.14-1с3,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места хранения9 96-3/4051-1
9 96-3/4052-X
Электронный адрес Электронный ресурс

Marc21

Показать

Документ

Страница 1 / 1