Пашков, Владимир Юрьевич - Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01

Экспресс-заказ фрагмента
Пашков, Владимир Юрьевич.
Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01. - Москва, 1996. - 255 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
плазма
Шифр хранения:
OD 61 96-5/1012-0

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 21.05.1997
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1996
Физическое описание255 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
плазма
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 96-5/1012-0