Ухов, Андрей Александрович - Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07

Экспресс-заказ фрагмента
Ухов, Андрей Александрович.
Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07. - Санкт-Петербург, 1995. - 180 с. : ил.

Оборудование производства электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 95-5/1998-2

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 11.02.1998
Каталоги Диссертации
Выходные данныеСанкт-Петербург, 1995
Физическое описание180 с. : ил.
ТемаОборудование производства электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 95-5/1998-2