Сатункин, Геннадий Анатольевич - Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Сатункин, Геннадий Анатольевич.
Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Черноголовка, 1994. - 405 с. : ил.

Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
OD 71 94-5/506-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАвтоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК 11.02.1998
Каталоги Диссертации
Выходные данныеЧерноголовка, 1994
Физическое описание405 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодВ375.147с31,03
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 94-5/506-6