Кузмичев, А. В. - Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21

Экспресс-заказ фрагмента
Кузмичев, А. В.
Исследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21. - Москва, 1995. - 156 с. : ил.

Лазерная физика
Шифр хранения:
OD 61 95-1/395-6

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процессов импульсного осаждения и травления в хлорсодержащих газах под действием излучения эксимерных лазеров : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.21
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 16.02.1998
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание156 с. : ил.
ТемаЛазерная физика
Специальность01.04.21: Лазерная физика
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 95-1/395-6