Шокина, Джульетта Ивановна - Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Шокина, Джульетта Ивановна.
Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1995. - 117 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
кремний
Шифр хранения:
OD 61 95-1/565-7

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 29.01.1998
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1995
Физическое описание117 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
кремний
BBK-кодВ379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 95-1/565-7