Татур, Андрей Эдуардович - Изучение механизмов распыления двухкомпонентных мишеней методами компьютерного моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04

Татур, Андрей Эдуардович.
Экспресс-заказ фрагмента
Татур, Андрей Эдуардович.
Изучение механизмов распыления двухкомпонентных мишеней методами компьютерного моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04. - Москва, 1998. - 182 с. : ил.

Физическая электроника
Шифр хранения:
OD 61 98-1/183-8

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИзучение механизмов распыления двухкомпонентных мишеней методами компьютерного моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЕЭК 13.05.1998
Дата поступления в ЭБ 23.05.2022
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1998
Физическое описание182 с. : ил.
ТемаФизическая электроника
BBK-кодВ333.13,03
В372.7,03
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 98-1/183-8
Электронный адрес Электронный ресурс