Гайнуллина, Наталья Романовна - Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.21

Гайнуллина, Наталья Романовна.
Экспресс-заказ фрагмента
Гайнуллина, Наталья Романовна.
Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.21. - Казань, 1998. - 132 с. : ил.

Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства
Шифр хранения:
OD 61 98-5/699-4

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАнализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : диссертация ... кандидата технических наук : 05.12.21
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Коллекции ЭБ Диссертации
Дата поступления в ЕЭК 29.09.1998
Дата поступления в ЭБ 05.07.2022
Каталоги Диссертации
Выходные данныеКазань, 1998
Физическое описание132 с. : ил.
ТемаРадиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 98-5/699-4
Электронный адрес Электронный ресурс