Казаков, Анатолий Иванович - Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Казаков, Анатолий Иванович.
Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06. - Одесса, 1992. - 325 с. : ил.

Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
OD 71 94-5/165-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК 07.06.1999
Каталоги Диссертации
Выходные данныеОдесса, 1992
Физическое описание325 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 94-5/165-6