Чэкай, Дионизы - Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02

Экспресс-заказ фрагмента
Чэкай, Дионизы.
Исследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02 / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова. - Ленинград, 1989. - 156 с. : ил.

Вакуумная и плазменная электроника
Шифр хранения:
OD 61 93-5/147

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование технологического процесса получения пленок сложного состава методом катодного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 27.07.1989
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиЛенингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова
Выходные данныеЛенинград, 1989
Физическое описание156 с. : ил.
ТемаВакуумная и плазменная электроника
BBK-кодЗ844.13-060.7-1,0
Специальность05.27.02: Вакуумная и плазменная электроника
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 93-5/147