Ушаков, Николай Георгиевич - Количественные методы субмикронной электронно-лучевой диагностики : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.01

Экспресс-заказ фрагмента
Ушаков, Николай Георгиевич.
Количественные методы субмикронной электронно-лучевой диагностики : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / ЦКБ уникального приборостроения. - Черноголовка, 1992. - 301 с. : ил.

Техника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
Шифр хранения:
OD 71 93-1/736

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеКоличественные методы субмикронной электронно-лучевой диагностики : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 13.08.1993
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиЦКБ уникального приборостроения
Выходные данныеЧерноголовка, 1992
Физическое описание301 с. : ил.
ТемаТехника физического эксперимента, физика приборов, автоматизация физических исследований
BBK-кодЗ844.1-060.6-7с344,0
Специальность01.04.01: Приборы и методы экспериментальной физики
ЯзыкРусский
Места храненияOD 71 93-1/736