Тысченко, Ида Евгеньевна - Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Тысченко, Ида Евгеньевна.
Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Рос. АН Сиб. отд-ние. Ин-т физ. полупроводников. - Новосибирск, 1992. - 176 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
OD 61 92-1/3472

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВысокотемпературная ионная имплантация в кремний : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 07.05.1992
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиРос. АН Сиб. отд-ние. Ин-т физ. полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1992
Физическое описание176 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 92-1/3472