Амиров, Ильдар Искандерович - Взаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Экспресс-заказ фрагмента
Амиров, Ильдар Искандерович.
Взаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Физ.-технол. ин-т. - [Б. м.], [19--?]. - 169 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 61 92-1/3202

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВзаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 17.04.1992
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиФиз.-технол. ин-т
Выходные данные[Б. м.], [19--?]
Физическое описание169 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодЗ844.15-060.14,0
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 92-1/3202