Пак Чер - Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : диссертация ... кандидата химических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Пак Чер.
Исследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : диссертация ... кандидата химических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии. - Москва, 1992. - 175 с. : ил.

Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 92-2/767

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование влияния редкоземельной примеси на процесс эпитаксиального роста и свойства эпитаксиальных слоев CaSb и CaAs : диссертация ... кандидата химических наук : 05.27.06
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 25.09.1992
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиМоск. ин-т тонкой хим. технологии
Выходные данныеМосква, 1992
Физическое описание175 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодВ379.251.4-6,03
В379.271.5,03
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 92-2/767