Коноплев, Владимир Михайлович - Изучение переноса атомов мишени при имплантации и ионном перемешивании методом моделирования на ЭВМ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04

Экспресс-заказ фрагмента
Коноплев, Владимир Михайлович.
Изучение переноса атомов мишени при имплантации и ионном перемешивании методом моделирования на ЭВМ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Ин-т электроники АН УзССР им. У. А. Арифова. - Ташкент, 1990. - 148 с. : ил.

Физическая электроника
Шифр хранения:
OD 61 91-1/149

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИзучение переноса атомов мишени при имплантации и ионном перемешивании методом моделирования на ЭВМ : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК 26.01.1990
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиИн-т электроники АН УзССР им. У. А. Арифова
Выходные данныеТашкент, 1990
Физическое описание148 с. : ил.
ТемаФизическая электроника
BBK-кодВ386.1с31,03
В379.271.3с31,03
Г552.4с116,0
Специальность01.04.04: Физическая электроника
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 91-1/149