Валиев, Саттарали Ахмедович - Влияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Валиев, Саттарали Ахмедович.
Влияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Ин-т полупроводников. - Киев, 1990. - 179 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
OD 61 91-1/511

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние плазменной обработки на отжиг дефектов и активацию легирующих примесей в имплантированных МДП-структурах : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 02.01.1991
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиИн-т полупроводников
Выходные данныеКиев, 1990
Физическое описание179 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.271.5,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 91-1/511