Кудышев, Амангельды Нажмиденович - Исследование разноупорядочения кремния при ионной имплантации методом электронно-индуцированной проводимости : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Кудышев, Амангельды Нажмиденович.
Исследование разноупорядочения кремния при ионной имплантации методом электронно-индуцированной проводимости : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1989. - 165 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
OD 61 91-1/1931

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование разноупорядочения кремния при ионной имплантации методом электронно-индуцированной проводимости : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 13.12.1989
Каталоги Диссертации
Выходные данныеМосква, 1989
Физическое описание165 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.227,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 91-1/1931