Ерохин, Юрий Николаевич - Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Экспресс-заказ фрагмента
Ерохин, Юрий Николаевич.
Влияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / АН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов. - Москва, 1991. - 131 с. : ил.

Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
OD 61 91-1/2673

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние фотовозбуждения электронной подсистемы кремния на образование и перестройку радиационных дефектов при ионной имплантации : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 26.08.1991
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиАН СССР. Ин-т проблем технол. микроэлектрон. и особочистых мат-лов
Выходные данныеМосква, 1991
Физическое описание131 с. : ил.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ379.227,03
В379.271.21,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 91-1/2673