Зайцев, Александр Геннадьевич - Исследование процесса магнетронного распыления с целью получения сверхпроводниковых покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02

Экспресс-заказ фрагмента
Зайцев, Александр Геннадьевич.
Исследование процесса магнетронного распыления с целью получения сверхпроводниковых покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02. - Ленинград, 1991. - 138 с. : ил.

Вакуумная и плазменная электроника
Шифр хранения:
OD 61 91-5/1752

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование процесса магнетронного распыления с целью получения сверхпроводниковых покрытий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.02
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 01.08.1991
Каталоги Диссертации
Выходные данныеЛенинград, 1991
Физическое описание138 с. : ил.
ТемаВакуумная и плазменная электроника
BBK-кодЗ855-060.7-1,0
Специальность05.27.02: Вакуумная и плазменная электроника
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 91-5/1752