Пак Джон Ун - Исследование структурных несовершенств и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах методом электродного потенциала : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06

Экспресс-заказ фрагмента
Пак Джон Ун.
Исследование структурных несовершенств и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах методом электродного потенциала : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Моск. ин-т тонкой хим. технологии. - Москва, 1990. - 162 с. : ил.

Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
OD 61 91-5/2606

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеИсследование структурных несовершенств и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах методом электродного потенциала : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 12.03.1991
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиМоск. ин-т тонкой хим. технологии
Выходные данныеМосква, 1990
Физическое описание162 с. : ил.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ843.308-1с33,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 91-5/2606