Степина, Наталья Петровна - Дефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Степина, Наталья Петровна.
Дефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1989. - 145 с. : ил.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
OD 61 90-1/1015

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеДефектообразование и проникновение примеси при низкоэнергетичном ионном легировании кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог диссертаций
Дата поступления в ЭК 09.01.1990
Каталоги Диссертации
Сведения об ответственностиАН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1989
Физическое описание145 с. : ил.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияOD 61 90-1/1015