Гайнуллина, Наталья Романовна. - Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 / Казанский гос. техн. ун-т. - Казань, 1998. - 15 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Гайнуллина, Наталья Романовна.
Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 / Казанский гос. техн. ун-т. - Казань, 1998. - 15 с.
Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства
Шифр хранения:
Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 / Казанский гос. техн. ун-т. - Казань, 1998. - 15 с.
Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства
Шифр хранения:
FB 9 98-4/3947-5
FB 9 98-4/3948-3
Описание
Автор | Гайнуллина, Наталья Романовна |
---|---|
Заглавие | Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 20.11.1998 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Казанский гос. техн. ун-т |
Выходные данные | Казань, 1998 |
Физическое описание | 15 с. |
Тема | Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства |
BBK-код | З844.15-060.6-3,0 |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 98-4/3947-5 |
FB 9 98-4/3948-3 |