Гайнуллина, Наталья Романовна - Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21

Карточка

Гайнуллина, Наталья Романовна.

Анализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21 / Казанский гос. техн. ун-т. - Казань, 1998. - 15 с.
Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства
FB 9 98-4/3947-5
FB 9 98-4/3948-3

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАнализ и оптимизация фотолитографических процессов при флуктуации параметров фоторезистной пленки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.21
Дата поступления в ЭК 20.11.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиКазанский гос. техн. ун-т
Выходные данныеКазань, 1998
Физическое описание15 с.
ТемаРадиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства
BBK-кодЗ844.15-060.6-3,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-4/3947-5
FB 9 98-4/3948-3