Латышев, Александр Васильевич - Атмоные ступени на поверхности кремния в процессах сублимации, эпитаксии и фазовых переходов : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10

Карточка

Латышев, Александр Васильевич.

Атмоные ступени на поверхности кремния в процессах сублимации, эпитаксии и фазовых переходов : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск, 1998. - 32 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
FB 9 98-5/1460-4
FB 9 98-5/1461-2

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАтмоные ступени на поверхности кремния в процессах сублимации, эпитаксии и фазовых переходов : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.10
Дата поступления в ЭК 03.12.1998
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИн-т физики полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1998
Физическое описание32 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.225,03
В379.251,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 98-5/1460-4
FB 9 98-5/1461-2