Касьянов, Александр Александрович - Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Касьянов, Александр Александрович.
Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Инж.-физ. ин-т. - Москва, 1993. - 19 с.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
Шифр хранения:
Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Инж.-физ. ин-т. - Москва, 1993. - 19 с.
Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
Шифр хранения:
FB 9 93-1/471-2
FB 9 93-1/472-0
Описание
Автор | Касьянов, Александр Александрович |
---|---|
Заглавие | Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 11.03.1993 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 13.08.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Инж.-физ. ин-т |
Выходные данные | Москва, 1993 |
Физическое описание | 19 с. |
Тема | Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям ) |
BBK-код | Ж621-5-05,0 |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 93-1/471-2 |
FB 9 93-1/472-0 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |