Касьянов, Александр Александрович - Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07

Касьянов, Александр Александрович.
Экспресс-заказ фрагмента
Касьянов, Александр Александрович.
Автоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Инж.-физ. ин-т. - Москва, 1993. - 19 с.

Автоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
Шифр хранения:
FB 9 93-1/471-2
FB 9 93-1/472-0

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАвтоматизированная система управления дуговым источником многозарядных ионов с подогревным катадом и катодным распылением рабочего вещества : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЕЭК 11.03.1993
Дата поступления в ЭБ 13.08.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиИнж.-физ. ин-т
Выходные данныеМосква, 1993
Физическое описание19 с.
ТемаАвтоматизация технологических процессов и производств ( в том числе по отраслям )
BBK-кодЖ621-5-05,0
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 93-1/471-2
FB 9 93-1/472-0
Электронный адрес Электронный ресурс