Сатункин, Геннадий Анатольевич - Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Сатункин, Геннадий Анатольевич.
Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / НИИ микроприборов. - Москва, 1994. - 50 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / НИИ микроприборов. - Москва, 1994. - 50 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 94-1/2292-6
FB 9 94-1/2293-4
Описание
Автор | Сатункин, Геннадий Анатольевич |
---|---|
Заглавие | Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 23.05.1994 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 03.06.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | НИИ микроприборов |
Выходные данные | Москва, 1994 |
Физическое описание | 50 с. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
BBK-код | В375.147с31,03 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 94-1/2292-6 |
FB 9 94-1/2293-4 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |