Сатункин, Геннадий Анатольевич - Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06

Карточка

Сатункин, Геннадий Анатольевич.
Сатункин, Геннадий Анатольевич.

Автоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06 / НИИ микроприборов. - Москва, 1994. - 50 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 94-1/2292-6
FB 9 94-1/2293-4

Документ в свободном доступе. Читать 

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеАвтоматизация способа Чохральского с использованием математических моделей малой размерности : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.06
Коллекции ЭБ Авторефераты
Дата поступления в ЭК 23.05.1994
Дата поступления в ЭБ 03.06.2008
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиНИИ микроприборов
Выходные данныеМосква, 1994
Физическое описание50 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодВ375.147с31,03
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 94-1/2292-6
FB 9 94-1/2293-4
Электронный адрес Электронный ресурс