Носенко, Сергей Всеволодович - Влияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Карточка

Носенко, Сергей Всеволодович.

Влияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектроники. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
FB 9 92-2/585-0
FB 9 92-2/586-9

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВлияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Дата поступления в ЭК 28.04.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектроники
Выходные данныеЧерноголовка, 1992
Физическое описание18 с.
ТемаТвердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
BBK-кодВ379.271.5-6,03
Специальность05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-2/585-0
FB 9 92-2/586-9