Носенко, Сергей Всеволодович. - Влияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектроники. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Носенко, Сергей Всеволодович.
Влияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектроники. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Влияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектроники. - Черноголовка, 1992. - 18 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 92-2/585-0
FB 9 92-2/586-9
Описание
Автор | Носенко, Сергей Всеволодович |
---|---|
Заглавие | Влияние атомарного водорода на свойства структуры Si-SiO2 : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 28.04.1992 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Рос. АН Ин-т проблем технол. микроэлектроники |
Выходные данные | Черноголовка, 1992 |
Физическое описание | 18 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | В379.271.5-6,03 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 92-2/585-0 |
FB 9 92-2/586-9 |