Сергеева, Жанна Михайловна. - Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1994. - 15 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Сергеева, Жанна Михайловна.
Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1994. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Гос. ин-т электронной техники. - Москва, 1994. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 94-1/1246-7
FB 9 94-1/1247-5
Описание
| Автор | Сергеева, Жанна Михайловна |
|---|---|
| Заглавие | Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
| Дата поступления в ЭК РГБ | 22.04.1994 |
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 03.06.2008 |
| Каталоги | Авторефераты диссертаций |
| Сведения об ответственности | Гос. ин-т электронной техники |
| Выходные данные | Москва, 1994 |
| Физическое описание | 15 с. |
| Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
| BBK-код | З844.15-060.6-1,0 |
| Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Язык | Русский |
| Места хранения | FB 9 94-1/1246-7 |
| FB 9 94-1/1247-5 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс |
