Иванова, Милка Илиева - Воздействие вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхность неорганических и органических веществ, применяемых в микроэлектронике : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10; 05.27.01

Карточка

Иванова, Милка Илиева.

Воздействие вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхность неорганических и органических веществ, применяемых в микроэлектронике : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10; 05.27.01 / АН СССР. Физ.-технол. ин-т. - Москва, 1989. - 20 с.
Физика полупроводников и диэлектриков
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
FB 9 89-7/1119-2
FB 9 89-7/1120-6

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВоздействие вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхность неорганических и органических веществ, применяемых в микроэлектронике : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10; 05.27.01
Дата поступления в ЭК 14.11.1989
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиАН СССР. Физ.-технол. ин-т
Выходные данныеМосква, 1989
Физическое описание20 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
BBK-кодЗ844.1-060.2-1,0
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 89-7/1119-2
FB 9 89-7/1120-6