Тысченко, Ида Евгеньевна - Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

Экспресс-заказ фрагмента
Тысченко, Ида Евгеньевна.
Высокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Рос. АН Сиб. отд-ние. Ин-т физ. полупроводников. - Новосибирск, 1992. - 15 с.

Физика полупроводников и диэлектриков
Шифр хранения:
FB 9 92-2/1499-x
FB 9 92-2/1500-7

Marc21

Скачать marc21-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВысокотемпературная ионная имплантация в кремний : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10
Коллекции ЕЭК РГБ Каталог авторефератов диссертаций
Дата поступления в ЕЭК 07.05.1992
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиРос. АН Сиб. отд-ние. Ин-т физ. полупроводников
Выходные данныеНовосибирск, 1992
Физическое описание15 с.
ТемаФизика полупроводников и диэлектриков
BBK-кодВ379.222,03
Специальность01.04.10: Физика полупроводников
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 92-2/1499-x
FB 9 92-2/1500-7