Корчагин, Владимир Викторович - Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06

Карточка

Корчагин, Владимир Викторович.

Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронеж. техн. ун-т. - Воронеж, 1995. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
FB 9 95-1/1533-7
FB 9 95-1/1534-5

Marc21

Скачать marc21-запись
Скачать rusmarc-запись

Показать

Описание

Автор
ЗаглавиеВыращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Дата поступления в ЭК 04.05.1995
Каталоги Авторефераты диссертаций
Сведения об ответственностиВоронеж. техн. ун-т
Выходные данныеВоронеж, 1995
Физическое описание15 с.
ТемаТехнология полупроводников и материалов электронной техники
BBK-кодЗ965-044.3-035.508-1,0
Специальность05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
ЯзыкРусский
Места храненияFB 9 95-1/1533-7
FB 9 95-1/1534-5