Корчагин, Владимир Викторович. - Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронеж. техн. ун-т. - Воронеж, 1995. - 15 с.
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Корчагин, Владимир Викторович.
Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронеж. техн. ун-т. - Воронеж, 1995. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронеж. техн. ун-т. - Воронеж, 1995. - 15 с.
Технология полупроводников и материалов электронной техники
Шифр хранения:
FB 9 95-1/1533-7
FB 9 95-1/1534-5
Описание
Автор | Корчагин, Владимир Викторович |
---|---|
Заглавие | Выращивание легированных бором нитевидных кристаллов кремния для чувствительных элементов сенсоров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Дата поступления в ЭК РГБ | 04.05.1995 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Воронеж. техн. ун-т |
Выходные данные | Воронеж, 1995 |
Физическое описание | 15 с. |
Тема | Технология полупроводников и материалов электронной техники |
BBK-код | З965-044.3-035.508-1,0 |
Специальность | 05.27.06: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 95-1/1533-7 |
FB 9 95-1/1534-5 |