Симакин, Сергей Геннадьевич - Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Карточка
Экспресс-заказ фрагмента
Симакин, Сергей Геннадьевич.
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Черноголовка, 1995. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Черноголовка, 1995. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
FB 9 95-4/869-5
FB 9 95-4/870-9
Описание
Автор | Симакин, Сергей Геннадьевич |
---|---|
Заглавие | Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 |
Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций |
Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты |
Дата поступления в ЭК РГБ | 19.06.1996 |
Дата поступления в ЭБ РГБ | 06.05.2008 |
Каталоги | Авторефераты диссертаций |
Сведения об ответственности | Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
Выходные данные | Черноголовка, 1995 |
Физическое описание | 23 с. |
Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника |
BBK-код | З844.15-060.7-7с336,0 |
Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
Язык | Русский |
Места хранения | FB 9 95-4/869-5 |
FB 9 95-4/870-9 | |
Электронный адрес | Электронный ресурс |