Симакин, Сергей Геннадьевич. - Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Черноголовка, 1995. - 23 с.
Карточка
        Экспресс-заказ фрагмента    
                    Симакин, Сергей Геннадьевич.
            
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Черноголовка, 1995. - 23 с.
                        
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. - Черноголовка, 1995. - 23 с.
Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
Шифр хранения:
            FB 9 95-4/869-5
                        
            
            FB 9 95-4/870-9
                        
            
        
    Описание
| Автор | Симакин, Сергей Геннадьевич | 
|---|---|
| Заглавие | Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 | 
| Коллекции ЭК РГБ | Каталог авторефератов диссертаций | 
| Коллекции ЭБ РГБ | Авторефераты | 
| Дата поступления в ЭК РГБ | 19.06.1996 | 
| Дата поступления в ЭБ РГБ | 06.05.2008 | 
| Каталоги | Авторефераты диссертаций | 
| Сведения об ответственности | Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов | 
| Выходные данные | Черноголовка, 1995 | 
| Физическое описание | 23 с. | 
| Тема | Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника | 
| BBK-код | З844.15-060.7-7с336,0 | 
| Специальность | 05.27.01: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | 
| Язык | Русский | 
| Места хранения | FB 9 95-4/869-5 | 
| FB 9 95-4/870-9 | |
| Электронный адрес | Электронный ресурс | 
                        